氣體分流箱是將氣體分成若干支路并供應(yīng)到各個(gè)用氣點(diǎn)的設(shè)備，一般安裝在工藝設(shè)備附近。使用VMB/VMP系統(tǒng)，Hook-up管路將會(huì)變短，可減少氣柜的數(shù)量，因此可大大減少投資和維護(hù)成本。 

1）VMB功能： 

A）設(shè)備單獨(dú)供氣穩(wěn)定性高； 

B）便于設(shè)備維護(hù)，保證管路清潔。 

2）VMB特點(diǎn)： 

A)功能齊全，操作簡(jiǎn)單，可完全滿足制程之需要。 

高安全性。帶PN2管路吹掃功能，有調(diào)壓措施，二次調(diào)壓讓壓力更加穩(wěn)定。