用于半導(dǎo)體工業(yè)的特種氣體,又稱電子氣,在半導(dǎo)體器件生產(chǎn)過程中由氣源柜控制與輸送。近幾年來,隨著我國超大規(guī)模集成電路、平板顯示器、光伏發(fā)電等產(chǎn)業(yè)的迅速發(fā)展,電子氣市場需求明顯增長,對于氣源柜的需求越來越大。如何在保證氣源的使用安全的前提下,提高生產(chǎn)效率,方便客戶操作,是特種氣體氣源柜設(shè)計(jì)的關(guān)鍵。 論文根據(jù)特種氣體的性質(zhì),使用環(huán)境,進(jìn)行氣源柜的研發(fā),重點(diǎn)研究了半導(dǎo)體行業(yè)特種氣體氣源柜的總體方案設(shè)計(jì),包括整體產(chǎn)品的設(shè)計(jì)構(gòu)思,總體布局,氣體防泄漏設(shè)計(jì),惰性氣體保護(hù)設(shè)計(jì),確定了整機(jī)的結(jié)構(gòu)構(gòu)成；增加了低壓連續(xù)吹掃系統(tǒng),選用自動焊接工藝進(jìn)行管線連接,加強(qiáng)密封保護(hù)措施,在安全性以及外觀性方面同時(shí)改善,使其適應(yīng)市場的需求；運(yùn)用氣體流量計(jì)算,使氣源輸出氣體更精準(zhǔn)；針對氣體特殊性質(zhì),進(jìn)行真空測試和壓力測試和可靠性試驗(yàn)與分析,解決了該產(chǎn)品難點(diǎn),并最終達(dá)到設(shè)計(jì)要求,成為國內(nèi)半導(dǎo)體行業(yè)中的領(lǐng)先產(chǎn)品。

產(chǎn)品簡介： 

    氣源柜/氣瓶架采用國際通行的質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)及工作原理，保證高純易燃易爆腐蝕有毒氣體安全地為相應(yīng)的設(shè)備提供工藝氣體。 

功能：正常工藝供氣、換瓶的抽空回充、工藝結(jié)束的排空回充及正常使用的工作狀態(tài)指示、異常報(bào)警（如負(fù)壓異常、泄露、煙霧火等等）及相應(yīng)的安全關(guān)聯(lián)響應(yīng)等。排空一般采用的是文丘里原理（根據(jù)客戶要求可采用真空泵排空方式等）。 

    氣瓶柜裝有安全防爆玻璃，氣路管件均采用進(jìn)口優(yōu)質(zhì)的管道（EP級SWAGELOK自動軌道焊接等）、閥門、VCR接口均采用SWAGELOK、 PARK及APTECH ，泄漏檢測、延誤火報(bào)警均采用優(yōu)質(zhì)品牌。

主要技術(shù)特點(diǎn) 

◆按瓶數(shù)分類：單瓶柜（架）/二瓶柜（架）/三瓶柜（架）/四瓶柜（架） 

◆按氣體分類：氣源柜（易燃易爆腐蝕有毒高純氣體）、氣瓶架（高純氣體，如高純氧氣、氬氣等） 

◆完善的安全報(bào)警裝置，具有氣體泄漏檢測報(bào)警（如SiH4、PH3、HCL等泄漏報(bào)警）、煙霧、火報(bào)警等 

◆控制方式：“觸摸屏+PLC”全自動控制（含手動控制） 

◆氣路管件：全部進(jìn)口，管道為EP級（CARDINAL/SANDVIK）、 閥門焊接頭為 SWAGELOK或相當(dāng)、減壓閥為PARK或相當(dāng)、全部VCR接口及自動軌道焊接 

◆氣瓶柜留有排氣口，并具有負(fù)壓檢測 

◆氣路設(shè)計(jì)合理完善，工作管路具備抽空、回充、壓力指示等功能 

◆氣瓶柜內(nèi)裝有氣瓶稱重裝置，可即時(shí)觀察氣瓶重量