氣源柜式特種氣體配置應(yīng)用是在輸入過(guò)程中的主要技術(shù)特點(diǎn)、質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)及工作原理是什么？

氣源柜

產(chǎn)品簡(jiǎn)介：設(shè)備用于放置工藝氣體源瓶。

產(chǎn)品詳細(xì)描述：

1、柜內(nèi)可放置多個(gè)氣源瓶；

2、配有相應(yīng)氣體的控制氣路板；

3、管路上配有閥門(mén)及接頭，有國(guó)產(chǎn)件及進(jìn)口件兩種配置；

4、柜體密封性好，頂部裝有排風(fēng)口，保證安全。

氣源柜式特種氣體配置應(yīng)用是在輸入過(guò)程中，對(duì)氣壓調(diào)解，流量控制，氣體純度保 ，人體安全保障等必備的關(guān)鍵性設(shè)備。不同生產(chǎn)工藝所使用的氣體不同，氣源柜功能也各有特異。

氣瓶柜/氣瓶架采用國(guó)際通行的質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)及工作原理，保證高純易燃易爆腐蝕有毒氣體安全地為相應(yīng)的設(shè)備提供工藝氣體。  

功能：正常工藝供氣、換瓶的抽空回充、工藝結(jié)束的排空回充及正常使用的工作狀態(tài)指示、異常報(bào)警（如負(fù)壓異常、泄露、煙霧火等等）及相應(yīng)的安全關(guān)聯(lián)響應(yīng)等。排空一般采用的是文丘里原理（根據(jù)客戶(hù)要求可采用真空泵排空方式等）。  

氣瓶柜裝有安全防爆玻璃，氣路管件均采用進(jìn)口優(yōu)質(zhì)的管道（EP級(jí)SWAGELOK自動(dòng)軌道焊接等）、閥門(mén)、VCR接口均采用SWAGELOK、 PARK及APTECH ，泄漏檢測(cè)、延誤火報(bào)警均采用優(yōu)質(zhì)品牌。  

主要技術(shù)特點(diǎn)  

◆按瓶數(shù)分類(lèi)：?jiǎn)纹抗瘢埽?二瓶柜（架）/三瓶柜（架）/四瓶柜（架）  

◆按氣體分類(lèi)：氣瓶柜（易燃易爆腐蝕有毒高純氣體）、氣瓶架（高純氣體，如高純氧氣、氬氣等）  

◆完善的安全報(bào)警裝置，具有氣體泄漏檢測(cè)報(bào)警（如SiH4、PH3、HCL等泄漏報(bào)警）、煙霧、火報(bào)警等  

◆控制方式：“觸摸屏+PLC”全自動(dòng)控制（含手動(dòng)控制）  

◆氣路管件：全部進(jìn)口，管道為EP級(jí)（CARDINAL/SANDVIK）、 閥門(mén)焊接頭為 SWAGELOK或相當(dāng)、減壓閥為PARK或相當(dāng)、全部VCR接口及自動(dòng)軌道焊接  

◆氣瓶柜留有排氣口，并具有負(fù)壓檢測(cè)  

◆氣路設(shè)計(jì)合理完善，工作管路具備抽空、回充、壓力指示等功能  

◆氣瓶柜內(nèi)裝有氣瓶稱(chēng)重裝置，可即時(shí)觀察氣瓶重量

氣源柜作為等離子刻蝕、化學(xué)氣相沉積、金屬濺射、實(shí)驗(yàn)室檢測(cè)設(shè)備等的工藝氣供氣氣源裝置，適合于輸送高純、有毒、易燃易爆、具有一般腐蝕性的介質(zhì)。根據(jù)不同使用要求可配置為手動(dòng)、自動(dòng)控制方式，及高沸點(diǎn)介質(zhì)加溫裝置。 貯氣罐 適用于貯存具有高純、有毒、易燃易爆、一般腐蝕性的半導(dǎo)體工藝氣、混合氣、標(biāo)樣氣等。