用于半導(dǎo)體工業(yè)的特種氣體,又稱電子氣,在半導(dǎo)體器件生產(chǎn)過程中由氣源柜控制與輸送。近幾年來,隨著我國超大規(guī)模集成電路、平板顯示器、光伏發(fā)電等產(chǎn)業(yè)的迅速發(fā)展,電子氣市場需求明顯增長,對于氣源柜的需求越來越大。如何在保證氣源的使用安全的前提下,提高生產(chǎn)效率,方便客戶操作,是特種氣體氣源柜設(shè)計的關(guān)鍵。 論文根據(jù)特種氣體的性質(zhì),使用環(huán)境,進(jìn)行氣源柜的研發(fā),重點研究了半導(dǎo)體行業(yè)特種氣體氣源柜的總體方案設(shè)計,包括整體產(chǎn)品的設(shè)計構(gòu)思,總體布局,氣體防泄漏設(shè)計,惰性氣體保護(hù)設(shè)計,確定了整機(jī)的結(jié)構(gòu)構(gòu)成；增加了低壓連續(xù)吹掃系統(tǒng),選用自動焊接工藝進(jìn)行管線連接,加強(qiáng)密封保護(hù)措施,在安全性以及外觀性方面同時改善,使其適應(yīng)市場的需求；運(yùn)用氣體流量計算,使氣源輸出氣體更精準(zhǔn)；針對氣體特殊性質(zhì),進(jìn)行真空測試和壓力測試和可靠性試驗與分析,解決了該產(chǎn)品難點,并最終達(dá)到設(shè)計要求,成為國內(nèi)半導(dǎo)體行業(yè)中的領(lǐng)先產(chǎn)品。

    一種減壓擴(kuò)散爐本實用新型公開了一種減壓擴(kuò)散爐。為了提高電池片效率，增加擴(kuò)散均勻性，所述減壓擴(kuò)散爐包括爐體柜和氣源 柜，以及設(shè)置在爐體柜內(nèi)與氣源柜連通的反應(yīng)管；所述反應(yīng)管的尾氣出口與一使反應(yīng)管內(nèi)保持負(fù)壓狀態(tài)的減壓系統(tǒng)相連。本實用新型減壓擴(kuò)散爐采用高溫負(fù)壓工藝， 可提高電池片擴(kuò)散均勻性，并防止高溫負(fù)壓工藝的污染，以及對設(shè)備儀器的腐蝕。

   一種柔性擴(kuò)散爐本實用新型公開了一種柔性擴(kuò)散爐，包括有凈化臺、排毒柜、爐體柜、氣源柜，所述的凈化臺與排毒柜連接，排毒柜與爐體柜連接，爐體柜與氣源柜連接，本實用具有結(jié)構(gòu)簡單、操作方便、擴(kuò)散效率高等優(yōu)點。