氣體純化（包括脫硫、脫二氧化碳）解決方案

    通過對國內外脫硫技術以及國內電力行業(yè)引進脫硫工藝試點廠情況的分析研究，目前脫硫方法一般可劃分為燃燒前脫硫、燃燒中脫硫和燃燒后脫硫等3類?！?/span>

    其中燃燒后脫硫，又稱煙氣脫硫（Flue gas desulfurization，簡稱FGD），在FGD技術中，氣源柜按脫硫劑的種類劃分，可分為以下五種方法：以CaCO3（石灰石）為基礎的鈣法，以MgO為基礎的鎂法，以Na2SO3為基礎的鈉法，以NH3為基礎的氨法，以有機堿為基礎的有機堿法。世界上普遍使用的商業(yè)化技術是鈣法，所占比例在90%以上。

    按吸收劑及脫硫產物在脫硫過程中的干濕狀態(tài)又可將脫硫技術分為濕法、干法和半干（半濕）法。濕法FGD技術是用含有吸收劑的溶液或漿液在濕狀態(tài)下脫硫和處理脫硫產物，該法具有脫硫反應速度快、設備簡單、脫硫效率高等優(yōu)點，但普遍存在腐蝕嚴重、運行維護費用高及易造成二次污染等問題?！　?/span>

    半干法FGD技術是指脫硫劑在干燥狀態(tài)下脫硫、在濕狀態(tài)下再生（如水洗活性炭再生流程），或者在濕狀態(tài)下脫硫、在干狀態(tài)下處理脫硫產物（如噴霧干燥法）的煙氣脫硫技術。特別是在濕狀態(tài)下脫硫、在干狀態(tài)下處理脫硫產物的半干法，以其既有濕法脫硫反應速度快、脫硫效率高的優(yōu)點，又有干法無污水廢酸排出、脫硫后產物易于處理的優(yōu)勢而受到人們廣泛的關注。按脫硫產物的用途，可分為拋棄法和回收法兩種。

    蒸汽加熱器是用過熱水蒸氣作為熱源，因此在使用過程中易發(fā)生泄漏而污染加熱介質，所以在制造方面要求嚴格，設備的造價也比較高；使用蒸汽進行加熱，其價格比電要便宜，但冬天要進行防凍處理。從操作上看，電加熱不會因蒸汽泄漏而影響吸附器再生的問題，所以設備造價較低。

    配氣裝置一般在正常生產中，使用蒸汽加熱器進行加熱。當蒸汽壓力不足或分子篩需要進行活化時，才投入電加熱器，以提高加熱介質的溫度。

1)無論哪種加熱方式，都要注意吸附器再生過程中的加熱和冷吹的溫度曲線變化。溫度曲線的異常變化說明：

①再生熱源(蒸汽或電)不足或氣量不足；

②吸附器負荷(尤其是吸附水量)有的變化，應查明原因；

2)注意吸附器再生時的壓力變化。壓力升高說明吸附器阻力增大或吸附器的進出口閥沒關嚴，應查明原因；

3)注意加熱時間的變化。加熱時間的延長應查明是熱源問題還是吸附器的負荷增大的影響；

氣體純化設備的發(fā)展和應用趨勢

    對于半導體設備來講，凈化工程技術在微電子技術中起著十分重要的作用。微電子技術的核心是集成電路，而集成電路的生產對其工藝環(huán)境和工藝流程中的凈化技術和設備提出了嚴格的要求。我國“九五”期間大力發(fā)展以微電子為重點的信息產業(yè)。凈化工程技術水平在某種意義上已成為衡量一個國家和地區(qū)科學技術水平和工業(yè)水平的一個重要標志。

    在潔凈室建設規(guī)模和技術水平上，我國與先進國家差距更大。日本清水建設公司一家，1982年到1987年期間承建的潔凈室面積達71．8萬平方米，而我國目前一年承建的潔凈室總面積還不到10萬平方米，但八五期間有較大發(fā)展，1993年承建潔凈室總面積已接近15萬平方米。美國的潔凈室建設規(guī)模更大，1998年統(tǒng)計已達188．5萬平方米。在潔凈工程技術水平上，80年代末期，國外已大量建成0．1微米級的超凈室，1987年日本三洋新瀉工場建成十級潔凈廠房3000平方米，NIT原木則建成了四個1000平方米控制0．1微米塵埃的千級廠房，換氣次數(shù)高達300次／分。