氣源柜的基本知識(shí)簡(jiǎn)介

    氣源柜分為五層。頂部設(shè)置有排毒口， 用以排除在換源 過(guò)程中泄漏的有害氣體。 柜頂設(shè)置有三路工藝氣體及一路壓縮空氣的進(jìn)氣接口， 接口以下安裝有減壓閥、截止閥， 用以對(duì)進(jìn)氣壓力進(jìn)行控制及調(diào)節(jié)。對(duì)應(yīng)于氣路，各層分別裝有相應(yīng)的電磁閥、 氣動(dòng)閥、過(guò)濾器、單向閥、質(zhì)量流量控制器、 及DCE源瓶和冷阱等。柜子的底部裝有質(zhì)量流量（MFC）控制器電源、控制開關(guān)、保險(xiǎn)等電路轉(zhuǎn)接板以及設(shè)備總電源進(jìn)線轉(zhuǎn)接板。

    一種微電子氣源柜吹掃系統(tǒng)，主要由供氣管路系統(tǒng)和吹掃管路系統(tǒng)組成，其中供氣管路系統(tǒng)用于工藝氣體的供給，吹掃管路系統(tǒng)用于整個(gè)管路殘留氣體的吹掃，為不同工藝氣的置換提供前提。吹掃系統(tǒng)的供氣管路系統(tǒng)端部與吹掃管路系統(tǒng)相連通，同時(shí)吹掃管路系統(tǒng)為低壓氣體輸送管路與高壓氣體輸送管路并聯(lián)組成，并通過(guò)同一高壓三通截止閥與吹掃氣供應(yīng)口相連接。供氣管路系統(tǒng)和吹掃管路系統(tǒng)各連接排氣管路。該吹掃系統(tǒng)主要用于高純或超高純氣體或半導(dǎo)體制造業(yè)特種氣體的配制、置換和輸送。

    一種封閉式特種柜，它由柜體、柜門、控栓、手柄、護(hù)門、控扣、、推拉桿、扣環(huán)控制總成等組成。其特征在于，芯不裸露在外面柜門內(nèi)裝有左、右舌及扣環(huán)，柜門不易被撬損，克服了一般柜或配制后就可打開柜門的缺陷，且結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，安裝維修方便，使用安全，可靠，適用于金融、財(cái)會(huì)部門特別適用于廣大農(nóng)村站使用。