用于半導(dǎo)體工業(yè)的特種氣體，又稱電子氣，在半導(dǎo)體器件臨盆進(jìn)程中由氣源柜掌握與保送。近幾年來，跟著我國超范圍集成電路、平板顯示器、光伏發(fā)電等家當(dāng)?shù)拿艚莩砷L，電子氣市場需求顯著增加，關(guān)于氣源柜的需求愈來愈年夜。若何在包管氣源的應(yīng)用平安的條件下，進(jìn)步臨盆效力，便利客戶操作，是特種氣體氣源柜設(shè)計的癥結(jié)。

    依據(jù)特種氣體的性質(zhì)，應(yīng)用情況，停止氣源柜的研發(fā)，重點研討半導(dǎo)體行業(yè)特種氣體氣源柜的整體計劃設(shè)計，包含全體產(chǎn)物的設(shè)計構(gòu)想，整體結(jié)構(gòu)，氣體防泄露設(shè)計，惰性氣體掩護(hù)設(shè)計，肯定了零件的構(gòu)造組成；增長了高壓持續(xù)吹掃體系，選用主動焊接工藝停止管線銜接，增強(qiáng)密封掩護(hù)辦法，在平安性和外不雅性方面同時改良，使其順應(yīng)市場的需求；應(yīng)用氣體流量盤算，負(fù)氣源輸入氣體更精準(zhǔn)；針對氣體特別性質(zhì)，停止真空測試和壓力測試和靠得住性實驗與剖析，處理了該產(chǎn)物難點，并終究到達(dá)設(shè)計請求，成為國際半導(dǎo)體行業(yè)中的搶先產(chǎn)物。