氣體純化裝置其純化工藝流程：以99.9%氮氣為原料，采用燃燒法直接除去氧雜質(zhì)。將99.9%氮氣通入裝有3093型脫氧劑的脫氧塔，在350℃下氧氣中的氧與脫氧劑上的碳發(fā)生氧化(燃燒)反應生成二氧化碳，從而完全除去氧雜質(zhì)。 本裝置由流量計、電磁閥、熱交換器、脫氧塔、干燥塔、管道氣動閥、水冷卻器及控制系統(tǒng)組成。由可編程序控制系統(tǒng)按設定程序控制電磁閥管道氣動閥及電加熱溫度自動控制，從而實現(xiàn)全自動操作，同時設有氣體故障和冷卻水故障報警、停機裝置。通常適用于含有雜質(zhì)氧氣≤0.1%的氮、二氧化碳等氣體進行脫氧處理，可以獲得高純氣體產(chǎn)品。

該裝置包括加熱器、催化氧化器、水冷卻器、第一高效脫氧器、第二高效脫氧器和分子篩吸附器等結(jié)構(gòu)，原料氣首先進入加熱器加熱，然后進入催化氧化器中催化氧化，之后經(jīng)催化氧化的氣體進入水冷卻器中與冷卻水進行熱交換，接著進入第一高效脫氧器或第二高效脫氧器脫除氧氣，然后進入分子篩吸附器中吸附，最后進行檢測，如果檢測合格，則得到超高純氣體，本發(fā)明結(jié)合催化氧化、化學反應、物理吸附三種原理，深度純化原料氣體，除去普通氣體中的C5以上烴類組分，達到超高純級別，滿足特殊儀器的用途，實現(xiàn)了超高純氣體的批量化生產(chǎn)，提升凈化效率，增加超高純氣體的產(chǎn)量。