大連氣體純化裝置采用復(fù)式流程，一組工作，同時(shí)另一組再生、待用。兩組交替使用，設(shè)備可以長(zhǎng)期連續(xù)運(yùn)行。  復(fù)式流程，每一組由除氧器、冷卻水、干燥器串聯(lián)組成，可以一組工作，同時(shí)另一組可以進(jìn)行再生處理，相互交替工作和再生，以保證設(shè)備連續(xù)運(yùn)行。

氣體增壓和原料氣體肆大部分組成，系統(tǒng)主機(jī)部分含主機(jī)箱、主控板、高精度質(zhì)量流量控制器與氣路，計(jì)算機(jī)操控平臺(tái)部分含操控計(jì)算機(jī)、計(jì)算機(jī)自動(dòng)配氣系統(tǒng)軟件和專用控制卡，氣體增壓部分含配氣臺(tái)、氣體增壓泵、真空泵、靜音式空氣壓縮機(jī)、精密過濾子系統(tǒng)等組成，原料氣體部分含鋼瓶裝標(biāo)準(zhǔn)原料氣體、稀釋用高純氮?dú)饣蛄憧諝猓ㄓ勺匀豢諝饨?jīng)過精密過濾形成或氮氧合成）等。

對(duì)于半導(dǎo)體設(shè)備來講，凈化工程技術(shù)在微電子技術(shù)中起著十分重要的作用。微電子技術(shù)的核心是集成電路，而集成電路的生產(chǎn)對(duì)其工藝環(huán)境和工藝流程中的凈化技術(shù)和設(shè)備提出了嚴(yán)格的要求。我國(guó)“九五”期間大力發(fā)展以微電子為重點(diǎn)的信息產(chǎn)業(yè)。凈化工程技術(shù)水平在某種意義上已成為衡量一個(gè)國(guó)家和地區(qū)科學(xué)技術(shù)水平和工業(yè)水平的一個(gè)重要標(biāo)志。