工業(yè)制氮機(jī)是工業(yè)領(lǐng)域?qū)Ｓ酶呒兌戎频獧C(jī)，是按變壓吸附技術(shù)設(shè)計(jì)、制造的氮?dú)獍l(fā)生設(shè)備。以空氣為原料，以?xún)?yōu)質(zhì)碳分子篩為吸附劑，運(yùn)用變壓吸附原理(PSA)，利用充滿(mǎn)微孔的分子篩，對(duì)空氣進(jìn)行選擇性吸附，以達(dá)到氧氮分離的目的。

   氣體純化裝置制氮機(jī)產(chǎn)品純度可在較大范圍內(nèi)根據(jù)用戶(hù)需要進(jìn)行調(diào)節(jié)，操作維護(hù)方便、運(yùn)行成本較低、裝置適應(yīng)性較強(qiáng)等特點(diǎn)，故而越來(lái)越得到中、小型氮?dú)庥脩?hù)的歡迎。 制氮裝置需要在通風(fēng)良好，礦塵較小，無(wú)積水、無(wú)滴水的專(zhuān)用峒室內(nèi)，或者在較為潔凈的巷道內(nèi)使用。

    氨分解后氣體經(jīng)13x分子篩床吸附可除去其中的水分，其露點(diǎn)達(dá)-60℃，殘氨小于5ppm即為精制的氫氮混合氣，這樣可以實(shí)現(xiàn)半導(dǎo)體工業(yè)上所不希望存在的有害的非金屬元素。如：氯和氧。

   氣體純化裝置分解后的氫、氮混合氣利用變溫吸附再生的原理，經(jīng)13x分子篩床吸附其中的水份及殘氨，并保持其性質(zhì)不變，從而達(dá)到干燥純化的目的，而13x分子篩經(jīng)加熱，用純化氣沖洗、解吸被分子篩吸附的水分、殘氨，從而達(dá)到再生重復(fù)使用的目的。