電子氣用于半導(dǎo)體工業(yè)的特種氣體，應(yīng)用平安的條件下，便利客戶操作

    用于半導(dǎo)體工業(yè)的特種氣體，又稱電子氣，在半導(dǎo)體器件臨盆進(jìn)程中由氣源柜掌握與保送。近幾年來，跟著我國超年夜范圍集成電路、平板顯示器、光伏發(fā)電等家當(dāng)?shù)拿艚莩砷L，電子氣市場需求顯著增加，關(guān)于氣源柜的需求愈來愈年夜。若何在包管氣源的應(yīng)用平安的條件下，進(jìn)步臨盆效力，便利客戶操作，是特種氣體氣源柜設(shè)計的癥結(jié)。

    論文依據(jù)特種氣體的性質(zhì)，應(yīng)用情況，停止氣源柜的研發(fā)，重點研討了半導(dǎo)體行業(yè)特種氣體氣源柜的整體計劃設(shè)計，包含全體產(chǎn)物的設(shè)計構(gòu)想，整體結(jié)構(gòu)，氣體防泄露設(shè)計，惰性氣體掩護(hù)設(shè)計，肯定了零件的構(gòu)造組成；增長了高壓持續(xù)吹掃體系，選用主動焊接工藝停止管線銜接，增強密封掩護(hù)辦法，在平安性和外不雅性方面同時改良，使其順應(yīng)市場的需求；應(yīng)用氣體流量盤算，負(fù)氣源輸入氣體更精準(zhǔn)；針對氣體特別性質(zhì)，停止真空測試和壓力測試和靠得住性實驗與剖析，處理了該產(chǎn)物難點，并終究到達(dá)設(shè)計請求，成為國際半導(dǎo)體行業(yè)中的搶先產(chǎn)物

質(zhì)量和數(shù)量

    要求具有相當(dāng)高的可靠系數(shù)。通常情況下，測試處理機日以繼夜地連續(xù)運轉(zhuǎn)。由于元件數(shù)量巨大，這樣一臺測試處理機每小時要為檢測系統(tǒng)供給28000個元件，因此任何停工成本都是巨大的。鑒于此，我們?nèi)匀恍枰獙@類設(shè)備進(jìn)行持續(xù)改進(jìn)，除可靠性外，易于維修也是一個非常重要的因素。

    裝配操作的成本壓力也是Multitest面臨的又一大挑戰(zhàn)。把許多氣源處理元件連接起來以使氣源處理系統(tǒng)運作起來是一項很費時的工作。為了改善這種情況，Multitest與Festo的系統(tǒng)工程小組密切合作，尋求提高M(jìn)T 9928項目裝配效率的最佳方案。

整理氣動元件

    由于氣源處理應(yīng)用場合的模塊化結(jié)構(gòu)以及多樣化（如也可用于潔凈室），以往總是在氣源下游直接把氣源處理單元、整套減壓閥、過濾器和閥安裝在設(shè)備上面。為了便于維修，通過安裝在設(shè)備多個不同位置處的壓力表可以讀取壓力值。因此，必須安裝大量氣管，這增加了安裝成本且需要更大的安裝空間。

    在本套解決方案中，將氣源處理和進(jìn)給系統(tǒng)中的所有重要元件集中在一個主要的模塊中，可以通過控制計算機進(jìn)行監(jiān)測并且可以進(jìn)行集中切換操作。Festo提供的這一模塊是完全預(yù)裝配好的，所有線路和氣管都已安裝好，即插即用，減少了工作量。各個模塊需要多種不同的壓力，這通過系統(tǒng)中的標(biāo)準(zhǔn)接口均可實現(xiàn)。

    Festo采用集成技術(shù)，為客戶訂制了一種類似于氣路板性質(zhì)的元件：在兩塊鋁板之間是一塊塑料板，塑料板上包含所有的進(jìn)氣管線，各進(jìn)氣管線連接至相應(yīng)的氣動元件。該方案與印刷電路板上的電子模塊排列相似，所不同的是緊密排列的是氣路管線，而非半導(dǎo)體元件。

    在Festo的這一方案中，無須獨立的整套氣管系統(tǒng)，因此大大減少了公司的裝配工作量。由于元件比較密集，功能可靠性高，在這種密集型配置中可避免彎曲復(fù)雜的管路系統(tǒng)。

    MT 9928型測試處理機中的接觸式控制盒即為這樣一種配置。需要在有限的空間內(nèi)安裝多個閥和氣缸。受空間所限，傳統(tǒng)的氣管配置方式已不再適用，必須采用扁平結(jié)構(gòu)。

    另一個獨特之處便是其開關(guān)模塊，根據(jù)一個模塊用于多個派生型的原理，可通過一個氣路板實現(xiàn)兩種不同的排列形式（"線路圖"）。Festo提供的這一氣路板同樣是預(yù)先裝配好且經(jīng)過測試的。每個設(shè)備上一共安裝了四個模塊，為Multitest降低裝配和質(zhì)量控制成本提供了巨大的潛力。對于100單元左右的小型生產(chǎn)線而言，這一模塊也是一個性價比非常高的方案?？梢员苊庥捎谛枰谌绱擞邢薜目臻g內(nèi)安裝氣管系統(tǒng)而引發(fā)的一系列問題。